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주사전자현미경(SEM) - COXEM
CX-200TM SEM (Manual Stage)

 

- 최대 30만배까지 배율조정가능(유효배율 약 10만배)

- 강력한 터보펌프를 기본사양으로 채택
펌프의 소음이 없으며 시동 후 3분이면 측정가능

- Manuak Stage로 보다 경제적인 가격에 운용가능

- Automatic control기능 제공으로 쉽고 빠른 이미지획득
(Filament Saturation, Auto Focus.Stigmation, Brightness/Contrast)

- 모듈방식으로 조립보다 보다 쉽고 편한 유지보수

- 독자기술로 개발된 제품으로 신속하고 저렴한 A/S를 제공

- 다양한 Detector 부작으로 더 많은 정보의 획득(EDS, BSE, WDS 부착가능)

 

Specification



  Resolution    3.0nm (30kV, SE image)
   10.0nm (3kV, SE image)
  Magnification    x15 ~ x300,000
  Accelerating voltage    0.5kV~30kV
  Objective IRIS    Variable aperture with 4 different diameters (30um,50um,100um,200um)
  Image Shift    ±50um
  Stage    Manual Stage, X: 40mm, Y: 65mm, Z: 5~60mm, T: -20°~90°, R:360°
  Sample Size    Horizontal: 130mm, Vertical: 60mm
  Automation Function    Filament Saturation
   Auto Focus
   Auto Brightness
   Auto Contrast
  Display Mode    Reduced window mode: 320 x 240 pixel
   TV screen scan mode: 640 x 4800 pixel
   Slow screen scan mode: 800 x 600 pixel (3steps)
   Photo screen capture mode 1: 1280 x 960 pixel
   Photo screen capture mode 2: 2560 x 1920 pixel
   Photo screen capture mode 3: 5120 x 3840 pixel
   Waveform observation mode
  Vacuum system    Turbo molecular pump(3분 이내 진공가능)
   Rotary pump
  Optional Detector    EDS(Energy dispersive spectroscopy
   WDS(Wavelength dispersive spectroscopy)
   BSE(Backscattered Electron)
   EBSD( Electron Back Scattered Diffraction)
  Dimension & Weight    Main system: 770(W)x880(D)x1500(H)mm, 350kg
   Operation table: 850(W)x800(D)x700(H)mm, 10kg